為下道工序的質(zhì)量打好基礎(chǔ)，清洗主要參數(shù)、工藝流程見《清洗作業(yè)指導(dǎo)書》。

5-2-3、涂膠：

涂膠是光刻的首道工序，它是在ITO玻璃ITO面上均勻涂一層光刻膠，LCM液晶顯示屏

由以上可知液晶分子的排列并不象晶體結(jié)構(gòu)那樣牢固，所以容易受到電場，磁場、溫度應(yīng)力以及吸附雜質(zhì)等外部影響。因而容易使其各項光學(xué)特性發(fā)生變化。液晶的這種作用力微弱的分子排列正是液晶有今日之廣闊市場的關(guān)鍵條件。液晶具有固定的偶極矩，所以施加電場可使液晶分子軸發(fā)生移動，于是液晶分子的排列發(fā)生改變。

涂膠的效果好壞直接影響光刻的質(zhì)量，它主要控制的內(nèi)容為：光刻膠的配制，涂層厚度及均勻性，涂層表面狀態(tài)等。

5-2-5-5、如用菲淋做掩膜版，菲淋與光學(xué)基板需貼合平整、緊密，不允許部分鼓起。

5-2-6．顯影：

顯影是將感光部分的光刻膠溶解，

同性的液體。反過來這類物質(zhì)從液體轉(zhuǎn)變成固體時，也要經(jīng)過中間狀態(tài)。各種能在一定的溫度范圍內(nèi)兼有液體和晶體，二者特性的物質(zhì)叫做液晶（LiquidCrystal）也叫做液晶相、中間相或中介相等，又稱為物質(zhì)的第四態(tài)。

液晶的由來

液晶最早是奧地利植物學(xué)家萊尼茨爾（F.Reinitzer）于1888年發(fā)現(xiàn)的。

LCM液晶顯示屏

除去留下來感光部分的膠膜從而顯示出所需的膠層圖案。顯影過程是將曝光后的玻璃放入顯影槽中，經(jīng)過一段時間后取出，再通過DI水把顯影液沖洗干凈。顯影液

在封口作業(yè)中須注意：
①封口膠應(yīng)密封、避光保存；
②應(yīng)在低溫10℃以下貯藏封口膠；
③封口膠有毒，LCM液晶顯示屏

發(fā)現(xiàn)某些物質(zhì)（脂甾醇的苯甲酸脂和酯酸脂）溶化后會經(jīng)過一個不透明呈白色渾濁液體狀態(tài)并發(fā)出多彩而美麗的光澤，只要繼續(xù)加熱才會變成清亮的液體。1889年，德國物理學(xué)家萊曼（O.Lehmann）用由他設(shè)計，在當(dāng)時作為最新式的附有加熱裝置的偏光顯微鏡對這些脂類化合物進行觀察。

操作時應(yīng)戴手套，如沾在皮膚上，用碳酸水洗凈；
④應(yīng)及時的經(jīng)常檢察、控制滲膠的速度和程度。用清洗劑，輔以超聲波加熱振蕩，將LCD外表面粘附的液晶、塵埃及其他污染物洗凈，以適應(yīng)成品加工的要